制程片PL模組
簡介
制程片PL檢測模組可應(yīng)用于制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD工藝后，對過程片進(jìn)行缺陷檢測。
可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網(wǎng)上料處以及離線設(shè)備，結(jié)合客戶端現(xiàn)有設(shè)備實現(xiàn)剔除。
采用了特殊定制相機(jī)和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法相結(jié)合，可快速、準(zhǔn)確地檢測出缺陷，檢測速率大大提升。
采用非接觸式的檢測方式，大大降低了在生產(chǎn)電池片各個工藝過程中的碎片率，是分析工藝問題、提高成品率、降低成本必不可少的視覺檢測設(shè)備。為產(chǎn)品質(zhì)量提供了完全可靠的保障。
過程片
產(chǎn)品特性
產(chǎn)能大于4500片/小時
兼容多尺寸片源，更換尺寸無需更換硬件，降低人力及耗材成本
無接觸式檢測，不會對過程片造成二次損傷
提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本
自動統(tǒng)計各類缺陷、良品數(shù)量及比例
適用于制絨、蝕刻、擴(kuò)散、PECVD等多種工序
技術(shù)指標(biāo)
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可檢測缺陷： |
隱裂、劃傷、污染、黑斑、吸盤印、皮帶印等 |
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模塊產(chǎn)能： |
＞4500p/H |
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相機(jī)類型： |
高清紅外線掃工業(yè)相機(jī) |
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適用電池片規(guī)格 |
156至210mm(±0.5mm) ， 160~200μm |
缺陷對比圖
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PL |
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EL |
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